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Intel 18A、ウェハ間歩留まり問題を解決か
Intel 18Aプロセス技術のウェハ間歩留まりばらつき問題が解決されたと報じられた。月産15,000枚体制への移行も進行中だが、依然として欠陥密度やパラメトリック歩留まりなど克服すべき課題は残る。
タグ: 歩留まり
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